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よくある質問

お客様からよくいただくご質問にお答えします。
お探しの質問が見つからない場合は、お気軽にお問い合わせください。

Q

測定時にはどのような注意が必要ですか？

残留水素の低減や測定条件の最適化が重要です。高真空環境を保ち...
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Q

環境分野でのTDSの応用例を教えてください。

産業廃棄物やリサイクル材料のガス放出特性評価に有効で、安全性...
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Q

定量分析は可能ですか？

はい、脱離ガスのスペクトルから定量分析を行うことができ、脱離...
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Q

TDS装置の温度と質量範囲は？

一般的なTDS装置では、測定温度は室温から1200℃（Siの...
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Q

半導体におけるTDSの役割は？

ウェハーや薄膜材料の脱ガス評価により工程最適化や製品品質向上...
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Q

TDSはどのような分野で利用されますか？

半導体製造、金属材料の水素脆化評価、バッテリー材料の特性評価...
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Q

TDSでどのような成分を測定できますか？

水素（H2）、水（H2O）、酸素（O2）、窒素（N2）などの...
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Q

TDS装置にはどのような加熱方式がありますか？

赤外線加熱TDSと抵抗炉加熱TDSがあり、試料の加熱環境や温...
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Q

TDSの測定原理を教えてください。

真空中で試料を加熱し、発生するガスを質量分析計で捕捉します。...
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Q

昇温脱離分析（TDS）とは何ですか？

昇温脱離分析（Thermal Desorption Spec...
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