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Q&A

よくある質問

Q

半導体におけるTDSの役割は？

A

ウェハーや薄膜材料の脱ガス評価により工程最適化や製品品質向上に貢献します。水素アニールの効果を評価することも可能です

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TDSはどのような分野で利用されますか？
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TDS装置の温度と質量範囲は？
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