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Q&A

よくある質問

Q

TDSの測定原理を教えてください。

A

真空中で試料を加熱し、発生するガスを質量分析計で捕捉します。スペクトルの横軸には温度、縦軸にはイオン強度が表示され、特定温度でのガスの種類と量を評価します

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